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优异性如下
高导热率(约为氧化铝的8倍)
低热膨胀系数与矽晶圆相近
良好的电性和高电阻抗及低介电系数
对卤素气体有优异的耐腐蚀性
高抗弯强度
适用于高功率电子元件与高导热之晶圆表面处理应用

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