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碳化硅RTP用托盘

碳化硅RTP用托盘

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详细说明
碳化硅RTP用托盘应用领域
半导体及LED产业RTA快速升温热处理用之承载盘(SiC载盘)。

 

 

碳化硅RTP用托盘产品需求特性
1. 良好的导热性
2. 耐热冲击能力佳
3. 低热膨胀系数
4. 均温性佳

 

 

凯乐士产品优异之处
1. 备有各种型式规格，可客制化生产
2. 质量稳定，交期迅速 
3. 可为客户进行设计制作