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SiC chuck（碳化硅真空吸盘）
SiC chuck（碳化硅真空吸盘）
详细说明
碳化硅真空吸盘(SiC carrier)应用领域
碳化硅透气盘在半导体、光电产业里，常将极薄晶圆放置在碳化硅透气吸盘上，接上真空产生器，利用真空吸力使晶圆固定，方便对晶圆进行上蜡、减薄、除蜡、清洗及切割等制程
碳化硅真空吸盘(SiC carrier)产品需求特性
1.热传导性佳，以缩短上蜡与除蜡制程时间，提高生产速率、增加生产效益
2.孔径细小且分布均匀，对整片晶圆各微小局部区域可均匀吸附
3.耐酸碱腐蚀
凯乐士优异之处
1.各种尺寸规格，皆可客制化制作
2.拥有良好的平面度及平行度，表面平顺光滑，不会刮伤晶圆
3.质量稳定，交期迅速
2.拥有良好的平面度及平行度，表面平顺光滑，不会刮伤晶圆
3.质量稳定，交期迅速