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晶舟(Boat)
晶舟(Boat)
详细说明
碳化硅晶舟应用领域
1.半导体产业
2.LED光电产业
3.太阳能等产业
4.扩散制程用之晶圆载具
5.第三代半导体
碳化硅晶舟产品需求特性
1.耐高温荷重
2.高温化学安定性
3.无particle产生之问题
凯乐士产品优异之处
1.各种型式规格，皆可客制化设计制作
2.质量稳定，交期迅速
3.采致密性常压烧结碳化硅材质
4.最高使用温度可达1,800˚C
5.高性价比，高竞争力
6.使用寿命长