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碳化硅陶瓷手臂
碳化硅陶瓷手臂
详细说明
碳化硅陶瓷手臂 应用领域
1. 半导体产业
2. 光电产业
3. 太阳能产业
4. 晶圆传送设备
5. 自动化设备
碳化硅陶瓷手臂 产品需求特性
1. 表面阻抗在106~108Ω，符合抗ESD规范
2. 表面容易清洁，无particle产生之问题
3. 高硬度，耐磨耗
4. 高刚性，抗震佳，长期使用不易弯曲变形
5. 质轻，振动幅度小
凯乐士产品优异之处
1. 无须coating，使用寿命长，可降低后续维护费用
2. 可提供客制化服务
3. 种类形式齐全，适用于各设备
4. 质量稳定，交期迅速
5. 晶圆传送稳定性佳，改善传统氧化铝手臂的缺点