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各种SiC晶舟的作法与差异性,分享
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氮化硅 Si3N4材料简介
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高导热基板比较表
基板材料
热传导率
(W/m*°K)
绝缘性(Ω×㎝)
单位面积(0.25cm
2
)
最高可使用功率(W)
基板尺寸
成本
玻璃纤维板FR4
0.7~1.2
10
14
0.2以下
可大型化
金属核心板MCPCB
2~6
10
8
0.5~1
可大型化
低温共烧陶瓷LTCC
8~15
10
13
1~1.5
不宜超过6"×6"
氧化铝Al
2
O
3
20~28
10
15
2~3
不宜超过6"×6"
碳化矽
SiC
120~140
10
8
3~15
不宜超过6"×6"
氮化铝
AlN
140~180
10
11
15~20
不宜超过6"×6