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炭化珪素プラテン
詳細な説明

アプリケーション


                ICP/ PSSエッチング工程のみキャリアディスク

 

特性


              SiC材料、その優れた熱伝導性、高硬度、高温度及び良好な化学的安定性、

             低熱膨張係数、プラズマ衝撃に対する耐性は、半導体素子の高温の点で他

             に類のない利点になり

 

 

仕様タイプ


               1.オックスフォード/アルバック/サムコ/ NMC機器、2 / 4 / 6インチのため。

               2.アップが修理重工業、メリットをコストダウン

               3.カスタマイズ可能なデザイン