應用領域 

               LED磊晶製程用之Star

產品特性

              1.因優異耐酸鹼特性，使之壽命較長。

               2.減少user更換次數，節省時間，且不需擔心SiC Star

                  表面侵蝕不一，造成亂流及減少製程不穩定性。

規格型式

                1. For Aixtron

                2.G4  2吋(3件組合式)

                3.4吋(3件組合式)

                4.G5  2吋(4件組合式)

                5.4吋(7件組合式)