產品介紹
MOCVD(STAR/DISC)
MOCVD(STAR/DISC)
詳細說明
應用領域
LED磊晶製程用之Star
產品特性
1.因優異耐酸鹼特性,使之壽命較長。
2.減少user更換次數,節省時間,且不需擔心SiC Star
表面侵蝕不一,造成亂流及減少製程不穩定性。
規格型式
1. For Aixtron
2.G4 2吋(3件組合式)
3.4吋(3件組合式)
4.G5 2吋(4件組合式)
5.4吋(7件組合式)