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MOCVD(STAR/DISC)

MOCVD(STAR/DISC)

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詳細說明

 應用領域 


               LED磊晶製程用之Star

 

產品特性


              1.因優異耐酸鹼特性,使之壽命較長。

               2.減少user更換次數,節省時間,且不需擔心SiC Star

                  表面侵蝕不一,造成亂流及減少製程不穩定性。

 

規格型式


                1. For Aixtron

                2.G4  2吋(3件組合式)

                3.4吋(3件組合式)

                4.G5  2吋(4件組合式)

                5.4吋(7件組合式)