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炭化珪素プラテン

炭化珪素プラテン

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詳細な説明
炭化珪素プラテン 応用分野
SiCプレートは、LED産業のICPエッチングプロセスの
ウェーハホルダーとして使用されます。
 
 
 
炭化珪素プラテン 製品の需要特性
1. 優れた熱伝導率
2. プラズマ衝撃に耐性
3. 温度均一性が良い
 
 
 
 Kallexが他より優れている理由 
1. さまざまな仕様で利用可能で、カスタマイズされたサービスも提供
2. 安定した品質と短納期
3. 改修サービス