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フォーカスリング

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詳細な説明
応用分野
SiCエッジリングはシリコンウエハーのエッチング工程で使用されています
 

 

 

製品の需要特性
1.プラズマ衝撃に対する優れた耐性
2.優れた耐ガス腐食性
3.素晴らしい熱衝撃および熱ひずみ耐性
4.パーティクの問題がなく、表面を簡単に洗浄
5.長期間使用しても曲がったり変形したりしない

 

 

 

Kallexが他より優れている理由
1.カスタマイズされたサービス
2.多くのタイプが利用可能
3.安定した品質と短納期