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MOCVD（スター/ディスク）

MOCVD（スター/ディスク）

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詳細な説明
応用分野
SiCセンタープレートとディスクは、III-V族化合物半導体エピタキシャルプロセスの
MOCVD反応チャンバーで使用されます。
 
 
 
製品の需要特性
1. 高温耐性
2. 高い熱伝導率
3. パーティクルの問題なし
4. 優れた熱安定性
 
 
 
Kallexが他より優れている理由
1. カスタマイズされたサービス
2. 安定した品質と短納期
3. ポケットの平面度が良い
4. 高いコストパフォーマンス
5. 高耐久性