SiCチャック
SiCチャック
詳細な説明
SiCチャック 応用分野
極端に薄いウェーハは、真空発生器に接続されたSiCキャリア上に置かれることが多く、
ウェーハは真空吸引によって固定されます。 半導体および光電子産業の
分野でのワックス処理、薄化、脱ワックス、洗浄、切断プロセスに便利です。
SiCチャック 製品の需要特性
1. ワックスと脱ロウのプロセス時間を短縮し、生産速度を向上させ、
生産効率を向上させる優れた熱伝導率
2. 細孔サイズは小さく、よく分散されており、ウェーハ全体の小さな局所的な各領域を
2. 細孔サイズは小さく、よく分散されており、ウェーハ全体の小さな局所的な各領域を
均一に吸着します
3. 酸およびアルカリの耐食性
3. 酸およびアルカリの耐食性
Kallexが他より優れている理由
1. さまざまなサイズと仕様をカスタマイズできます
2. 平面度、平行度、滑らかな表面が良好で、ウェーハを傷つけない
3. 安定した品質と短納期
2. 平面度、平行度、滑らかな表面が良好で、ウェーハを傷つけない
3. 安定した品質と短納期