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バンプキャリア
バンプキャリア
詳細な説明
注意深い職人技が多くの信頼性テストに合格
応用分野
LED業界のICPエッチングプロセス用のSiCピントレイは、
通常のポケットタイプのトレイを置き換えることができます。
製品の需要特性
1. 優れた熱伝導率
2. プラズマ衝撃への耐性
3. 温度均一性が良い
2. プラズマ衝撃への耐性
3. 温度均一性が良い
Kallexが他より優れている理由
1. 独占特許設計、中華民国特許証明書を取得：新しい番号M555559-
新しい名前：ウェーハキャリア
2. プロセスにおける顧客の改善を支援する
3. 高いコストパフォーマンスと高い競争力
4. ウェーハの各小さな部分領域の均一性を改善する
5. 同じキャリア内のウェーハ間のプロセス結果の違いを減らす
6. 耐久性は通常のポケットタイプの4倍で、プレートの使用コストを大幅に節約できます
2. プロセスにおける顧客の改善を支援する
3. 高いコストパフォーマンスと高い競争力
4. ウェーハの各小さな部分領域の均一性を改善する
5. 同じキャリア内のウェーハ間のプロセス結果の違いを減らす
6. 耐久性は通常のポケットタイプの4倍で、プレートの使用コストを大幅に節約できます
注意深い職人技が多くの信頼性テストに合格
400℃から1,000℃までの10回の高温試験の後、小さなバンプはまだ安定しています。
ICPプロセスの温度は比較的低いため、3,000回以上の実行に耐えることはできません問題。
バンプ引き抜き強度試験
試験条件プル （kg）
バンプ接着強度 24.0
熱衝撃試験
20°C /秒の速度で室温から
500°Cに10回加熱した後 22.3
バンプ接着強度 24.0
熱衝撃試験
20°C /秒の速度で室温から
500°Cに10回加熱した後 22.3
衝撃試験
30分後の水中の超音波衝撃 21.4
高温耐性試験
1,000°Cに2時間加熱した後、 26.1
30分後の水中の超音波衝撃 21.4
高温耐性試験
1,000°Cに2時間加熱した後、 26.1