凱樂士-透氣性吸盤-SiC Carrier

廣泛應用在: 半導體、光電產業，將晶圓放置
SiC carrier上，接上真空吸力，利用真空吸力
使晶圓固定，進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及
切割等製程。
其優異性如下:
熱傳導性佳，可縮短製程時間，提高生產效益。
良好的平面度及平行度，且表面平順光滑，
不會刮傷晶圓。
孔徑細小又均勻分佈，透氣性佳，吸附力強且均勻。
各種尺寸規格，皆可客製化製作哦
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