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碳化矽擋片
碳化矽擋片
詳細說明
碳化矽擋片應用領域
在長氧化矽薄膜或擴散製程中，碳化矽擋片常被置放於矽晶圓前端以保護後面的矽晶圓
碳化矽擋片產品需求特性
1.耐高溫氣體侵蝕
2.化學安定性佳
3.表面容易清潔，不會有particle產生之問題
4.長期使用不易彎曲變形
凱樂士產品優異之處
1.提供客製化服務
2.使用壽命長，大幅減少矽晶圓汰換次數
3.種類形式齊全，適用於各設備