碳化矽ICP承載盤應用領域 

LED產業ICP蝕刻製程用之承載盤

碳化矽ICP承載盤產品需求特性

1.優異的熱傳導性

2. 耐電漿轟擊

3.均溫性佳

凱樂士產品優異之處

1.備有各種型式規格，且可客製化製作

2.品質穩定，交期迅速

3.另有重工修整服務