覆蓋盤
覆蓋盤
詳細說明
應用領域
半導體產業Si晶片薄膜生長過程中固定用承載載具
產品需求特性
1.高熱傳導率、表面溫度均勻
2.耐熱震、耐熱衝擊、耐熱應變
3.表面容易清潔,不會有particle產生之問題
4.長膜製程穩定性佳
凱樂士產品優異之處
1.提供客製化服務
2.種類形式齊全,適用於各設備
3.品質穩定,交期迅速