碳化矽研磨載盤
碳化矽研磨載盤
詳細說明
應用領域
1.半導體矽晶圓之研磨製程
2.LED藍寶石晶圓之研磨製程
3.LED晶圓減薄製程
產品需求特性
1.導熱性
2.耐熱衝擊能力
3.耐磨耗
凱樂士產品優異之處
1.各種型式規格,皆可客製化製作
2.品質穩定,交期迅速
3. 研磨載盤直徑從120mm至480mm備有庫存
4. 可縮短上下料作業時間
5. 可承受更高的減薄速率
2.品質穩定,交期迅速
3. 研磨載盤直徑從120mm至480mm備有庫存
4. 可縮短上下料作業時間
5. 可承受更高的減薄速率