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晶舟(Boat)
晶舟(Boat)
詳細說明
晶舟(Boat)應用領域
1.半導體產業
2.LED光電產業
3.太陽能等產業
4.擴散製程用之晶圓載具
晶舟(Boat)產品需求特性
1.耐高溫荷重
2.高溫化學安定性
3.無particle產生之問題
凱樂士產品優異之處
1. 各種型式規格，皆可客製化設計製作
2. 品質穩定，交期迅速
3. 採緻密性常壓燒結碳化矽材質
4.最高使用溫度可達1,800˚C
5.高性價比，高競爭力
6.使用壽命長