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SiC chuck(碳化矽真空吸盤)
SiC chuck(碳化矽真空吸盤)
詳細說明
SiC chuck(碳化矽真空吸盤)應用領域
在半導體、光電產業裡，常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上，接上真空產生器，利用真空吸力使晶圓固定，方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程
SiC chuck(碳化矽真空吸盤)產品需求特性
1.熱傳導性佳，以縮短上蠟與除蠟製程時間，提高生產速率、增加生產效益
2.孔徑細小且分佈均勻，對整片晶圓各微小局部區域可均勻吸附
3.耐酸鹼腐蝕
凱樂士優異之處
1.各種尺寸規格，皆可客製化製作
2. 擁有良好的平面度及平行度，表面平順光滑，不會刮傷晶圓
3. 品質穩定，交期迅速