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碳化矽PVD載盤
碳化矽PVD載盤
詳細說明
應用領域
LED產業PVD成長鋁氮膜製程用之承載盤
產品需求特性
1.導熱性佳
2.均溫性佳
3.耐熱衝擊性佳
凱樂士產品優異之處
1.各種型式規格，皆可客製化製作
2.品質穩定，交期迅速
3.高緻密性，不會有out-gassing之問題