微結構設計化碳化矽材料-Super K 應用領域

光電及化合物半導體之快速升溫熱處理製程(RTP)中承載wafer的最佳載具材料。微結構設計化碳化矽材料《Super K 》具有以60˚C/sec的速率成功升溫至1250 ˚C的驗證實績。良好的導熱性

微結構設計化碳化矽材料-Super K 品需求特性

1.極佳之耐熱衝擊能力佳

2.低熱膨脹係數

3.良好的導熱性

凱樂士產品優異之處

1.備有各種型式規格，可客製化生產

2.品質穩定，交期迅速