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各種SiC晶舟的作法與差異性
材料比較表
高導熱基板比較表
氧化鋯 ZrO2材料簡介
碳化矽SiC材料簡介
氮化矽 Si3N4簡介
氮化鋁AlN 材料簡介
氮化硼BN 材料简介
高導熱基板比較表
基板材料
熱傳導率
(W/m*°K)
絕緣性(Ω×㎝)
單位面積(0.25cm
2
)
最高可使用功率(W)
基板尺寸
成本
玻璃纖維板FR4
0.7~1.2
10
14
0.2以下
可大型化
金屬核心板MCPCB
2~6
10
8
0.5~1
可大型化
低溫共燒陶瓷LTCC
8~15
10
13
1~1.5
不宜超過6"×6"
氧化鋁Al
2
O
3
20~28
10
15
2~3
不宜超過6"×6"
碳化矽SiC
120~140
10
8
3~15
不宜超過6"×6"
氮化鋁AlN
140~180
10
11
15~20
不宜超過6"×6